Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий

Abstract

Приведены результаты исследований по влиянию величины плавающего потенциала на подложкодержателях различных размеров на форму и стабильность горения разряда постоянного тока при наличии магнитного поля. Определены условия стабильного горения разряда в течение длительного времени (до 6 ч) при нулевом потенциале на подложкодержателе. Показано, что в интервале токов 4…8,5 А и диапазоне давлений 75…120 мм рт. ст. на образцах, расположенных на подложкодержателе, можно достигать температур от 1100 до 1250 °С, что вполне достаточно для зарождения и синтеза алмазных покрытий.

Наведено результати досліджень щодо впливу величини плаваючого потенціалу на підкладкоутримачах різних розмірів на форму і стабільність горіння розряду постійного струму при наявності магнітного поля. Визначено умови стабільного горіння розряду в перебігу тривалого часу (до 6 год) при нульовому потенціалі на підкладкоутримачу. Показано, що в інтервалі струмів 4…8,5 А і діапазоні тисків 75…120 мм рт. ст. на зразках, розташованих на підкладкоутримачі, можна досягати температур від 1100 до 1250 °С, що цілком достатньо для зародження і синтезу якісних алмазних покриттів.

The results of studies on the influence of the floating potential on substrateholder of various sizes on the shape and stability of the DC discharge burning in the presence of a magnetic field have been presented. The conditions for stable burning of the discharge for a long time (up to 6 hours) were determined at a zero potential on the substrate holder. It was shown that in the current range from 4 to 8.5 A and in the pressure range from 75 mm Hg up to 120 mm Hg on the samples located on the substrate holder it was possible to reach the temperatures from 1100 up to 1250 °C, which is quite sufficient for the nucleation and synthesis of high quality diamond coatings.