Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДудин, С.В.
dc.contributor.authorРафальский, Д.В.
dc.contributor.authorЗыков, А.В.
dc.date.accessioned2013-12-15T22:42:15Z
dc.date.available2013-12-15T22:42:15Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractРазработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.uk_UA
dc.identifier.citationШирокоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleШирокоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсациейuk_UA
dc.title.alternativeШирокоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацієюuk_UA
dc.title.alternativeRF broad-beam low-energy ion source with electron compensationuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Dudin.pdf
Розмір:
128.31 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, № 2