Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКулинич, О.А.
dc.contributor.authorСмынтына, В.А.
dc.contributor.authorГлауберман, М.А.
dc.contributor.authorЧемересюк, Г.Г.
dc.contributor.authorЯцунский, И.Р.
dc.date.accessioned2014-01-03T23:28:21Z
dc.date.available2014-01-03T23:28:21Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractПоказано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.uk_UA
dc.identifier.citationВлияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52492
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectМатериалы электроникиuk_UA
dc.titleВлияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремнияuk_UA
dc.title.alternativeВплив вихідних дефектів на розподіл механічних напруг и деформацій при окиснені кремніяuk_UA
dc.title.alternativeThe influence of initial defects on mechanical stress and deformation distribution in oxidized siliconuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Kulinich.pdf
Розмір:
294.83 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008, № 5