Наноразмерная структура конденсатов ZrO₂—Y₂O₃, осажденных из паровой фазы в вакууме

Abstract

Исследован химический и фазовый состав, размер частиц и текстура (удельная поверхность, пористая структура и средний радиус пор) конденсатов ZrO₂—Y₂O₃ после осаждения из паровой фазы в вакууме и последующей термической обработки. В зависимости от условий получения и температуры подложки (Ts=30—50 °С) конденсаты диоксида циркония толщиной 70—210 мкм могут быть получены в виде рентгеноаморфных, частично закристаллизованных и кристаллических (кубическая фаза) образцов. Показана динамика агрегации аморфных областей и наноразмерных кристаллитов диоксида циркония при нагреве.

Вивчено вплив температури нагрівання в інертному середовищі (аргон) на структурні характеристики й текстуру рентгеноаморфного нанодисперсного конденсату системи ZrO₂—6.5 % Y₂O₃, отриманого за технологією електронно-променевого випару й осадження у вакуумі (EB-PVD). Досліджено фазову сполуку, розмір часток і текстуру (питому поверхню і середній радіус пор) конденсатів ZrO₂—Y₂O₃. Вивчено вплив термічної обробки на зміну агрегатного стану конденсатів, питому поверхню і середній радіус пор. Показано динаміку агрегації аморфних нанорозмірних кристалітів з утворенням кубічної фази діоксиду цирконію при нагріванні.

Chemistry and phase structure, particle dimensions and texture (specific surface and average pore radius) of ZrO₂—Y₂O₃ condensate after deposition from vaporized phase in vacuum and futher processing was studied. Depending on conditions of obtaining and substrate temperature (Ts = 30—50 °С) condensate of zirconium dioxide 70—210 micron thick can be obtained as amorphous, partially crystallized and cubic crystal samples. Dynamics of aggregation of amorphous regions and nanosized crystallites of zirconium dioxide during heating was shown.