Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
dc.contributor.author | Лопин, А.В. | |
dc.contributor.author | Семёнов, А.В. | |
dc.contributor.author | Пузиков, В.М. | |
dc.date.accessioned | 2014-01-07T23:04:21Z | |
dc.date.available | 2014-01-07T23:04:21Z | |
dc.date.issued | 2007 | |
dc.description.abstract | На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.subject | Сенсоэлектроника | uk_UA |
dc.title | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC | uk_UA |
dc.title.alternative | Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC | uk_UA |
dc.title.alternative | Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: