Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC

dc.contributor.authorЛопин, А.В.
dc.contributor.authorСемёнов, А.В.
dc.contributor.authorПузиков, В.М.
dc.date.accessioned2014-01-07T23:04:21Z
dc.date.available2014-01-07T23:04:21Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractНа основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.uk_UA
dc.identifier.citationОптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52827
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectСенсоэлектроникаuk_UA
dc.titleОптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiCuk_UA
dc.title.alternativeОптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiCuk_UA
dc.title.alternativeOptical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide filmuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
05-Lopin.pdf
Розмір:
148.21 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: