Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКосско, И.А.
dc.contributor.authorКрючин, А.А.
dc.contributor.authorПанкратова, А.В.
dc.contributor.authorКоржинский, Ф.И.
dc.contributor.authorСереда, Л.Д.
dc.contributor.authorСереда, И.В.
dc.date.accessioned2013-11-04T21:08:31Z
dc.date.available2013-11-04T21:08:31Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractРассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.uk_UA
dc.description.abstractРозглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії.uk_UA
dc.description.abstractAn opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used.uk_UA
dc.description.sponsorshipКоллектив авторов благодарит старших научных сотрудников ИФП НАН Украины О. Литвин и П. Литвина за многолетнюю плодотворную работу по анализу рельефных микроструктур, осуществленную и в представленной статье.uk_UA
dc.identifier.citationФормирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.uk_UA
dc.identifier.issn1560-9189
dc.identifier.udc004.85
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут проблем реєстрації інформації НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofРеєстрація, зберігання і обробка даних
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectФізичні основи, принципи та методи реєстрації данихuk_UA
dc.titleФормирование рельефных микроструктур на кремниевых подложкахuk_UA
dc.title.alternativeФормування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладкахuk_UA
dc.title.alternativeFormation of Relief Microstructures on Silicon Substratesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
02-Kossko.pdf
Розмір:
761.77 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006, № 2