Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБелянин, А.Ф.
dc.contributor.authorКривченко, В.А.
dc.contributor.authorЛопаев, Д.В.
dc.contributor.authorПавлушкин, Л.В.
dc.contributor.authorПащенко, П.В.
dc.contributor.authorПирогов, В.Г.
dc.contributor.authorПоляков, С.Н.
dc.contributor.authorСуетин, Н.В.
dc.contributor.authorСушенцов, Н.И.
dc.date.accessioned2014-01-19T22:30:21Z
dc.date.available2014-01-19T22:30:21Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractПленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.uk_UA
dc.identifier.citationНаноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleНаноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптикиuk_UA
dc.title.alternativeНаноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптикиuk_UA
dc.title.alternativeNano-structured ZnO films for microelectronics and optical devicesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
13-Belianin.pdf
Розмір:
344.92 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 6