Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий

Abstract

Исследовано влияние импульсной стимуляции при вакуумно-дуговом методе получения TiN-покрытий на изменение их структуры, субструктуры и напряжённо-деформированного состояния. Установлено, что импульсная стимуляция позволяет протекать при формировании покрытий релаксационно-упорядочивающим процессам. Это проявляется в уменьшении деформации на макроструктурном и субструктурном уровнях и снижении величины периода решётки в ненапряжённом сечении. Отмеченные в результате импульсной стимуляции структурные эффекты приводят к получению вакуумно-дуговых покрытий высокой твёрдости, достигающей 62 ГПа.

Досліджено вплив імпульсної стимуляції при вакуумно-дуговому методі одержання TiN-покриттів на зміну їх структури та напружено-деформованого стану. Встановлено, що імпульсна стимуляція уможливлює перебіг при формуванні покриттів релаксаційно-впорядкувальних процесів. Це проявляється в зменшенні деформації на макроструктурному та субструктурному рівнях і зниженні величини періоду ґратниці в ненапруженому перерізі. Спостережувані внаслідок імпульсної стимуляції структурні ефекти призводять до одержання вакуумно-дугових покриттів високої твердости, яка доходить до 62 ГПа.

Influence of high-voltage pulse stimulation during vacuum-arc deposition of TiN coatings on changes in the TiN-coating structure, substructure and stressedly deformed state is investigated. As revealed, the pulsed stimulation permits the occurrence of relaxation processes during coating formation. This manifests itself in the strain decrease at macro- and substructural levels, and in the lattice-spacing decrease in the stress-free cross section. The observed structural effects resulting from pulsed stimulation lead to the formation of vacuum-arc coatings with high hardness that reaches 62 GPa.