Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКрючин, А.А.
dc.contributor.authorРубіш, В.М.
dc.contributor.authorКостюкевич, С.О.
dc.contributor.authorМінько, В.І.
dc.contributor.authorШепелявий, П.Є.
dc.contributor.authorЛисюк, В.О.
dc.contributor.authorКостюкевич, К.В.
dc.contributor.authorСурмач, М.А.
dc.date.accessioned2013-10-23T23:51:29Z
dc.date.available2013-10-23T23:51:29Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractПредставлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах.uk_UA
dc.description.abstractThe results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.uk_UA
dc.description.sponsorshipАвтори висловлюють глибоку вдячність співробітникам Інститутів проблем реєстрації інформації і фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України за допомогу у виготовленні зразків носіїв інформації, здійснення запису інформації та обробки носіїв, а також за плідне обговорення результатів досліджень.
dc.identifier.citationРеєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.uk_UA
dc.identifier.issn1560-9189
dc.identifier.udc004.85
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherІнститут проблем реєстрації інформації НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofРеєстрація, зберігання і обробка даних
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectФізичні основи, принципи та методи реєстрації данихuk_UA
dc.titleРеєструвальні матеріали для лазерної термолітографіїuk_UA
dc.title.alternativeRegistration Materials for Laser Thermolithographyuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
01-Kryuchin.pdf
Розмір:
370.97 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2012, № 3