Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКасимов, Ф.Д.
dc.contributor.authorИсмайлова, С.А.
dc.date.accessioned2014-11-15T08:41:39Z
dc.date.available2014-11-15T08:41:39Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractЛокальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.uk_UA
dc.identifier.citationИсследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc621.315.592
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectДатчикиuk_UA
dc.titleИсследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурацииuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
10-Kasimov.pdf
Розмір:
157 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001, № 1