Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
Анотація
Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА).
The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, their structure and properties of porous anodic alumina (PAA) films obtained from the aluminum films.
The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, their structure and properties of porous anodic alumina (PAA) films obtained from the aluminum films.
Опис
Теми
Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА).
Цитування
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.