Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАзарєнков, М.О.
dc.contributor.authorДудін, С.В.
dc.contributor.authorЗиков, О.В.
dc.contributor.authorФаренік, В.І.
dc.contributor.authorЯковін, С.Д.
dc.date.accessioned2018-02-16T09:20:13Z
dc.date.available2018-02-16T09:20:13Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractОгляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.uk_UA
dc.description.abstractОбзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности.uk_UA
dc.description.abstractThe review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.uk_UA
dc.description.sponsorshipРобота виконана при частковому фінансуванні Міністерством освіти і науки України за темами науково-дослідних робіт 0117U004875 та 0115U003166. Автори вдячні Турбіну П. В. за увагу до роботи.uk_UA
dc.identifier.citationІонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.uk_UA
dc.identifier.issn2519-2485
dc.identifier.udc537.521.7
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofЖурнал физики и инженерии поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleІонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологійuk_UA
dc.title.alternativeИонно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологийuk_UA
dc.title.alternativeIon-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologiesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
07-AzarenkovNEW.pdf
Розмір:
2.81 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, № 2-3