Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов

Abstract

Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения.

Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження.

The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process.