Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий

Abstract

Предложен метод создания газовых смесей, предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Особенностью метода является предварительная циклическая продувка смесительной камеры для создания в ней атмосферы, состоящей не менее чем на 99,9% из одного компонента смеси. В дальнейшем по заданному процентному соотношению газов в смеси осуществляется последовательная подача газовых компонентов до соответствующих парциальных давлений. На основе метода был разработан промышленно применимый генератор газовых смесей (для случая трех газов). Генератор газовых смесей характеризуют высокие производительность создания газовых смесей и точность соотношения компонентов в смеси (погрешность по каждому компоненту не превышает 0,1%). Применение разработанного генератора газовых смесей в процессах ионно-плазменной обработки обеспечит получение покрытий с высокими эксплуатационными свойствами.

Запропоновано метод створення газових сумішей, призначених для отримання покриттів богатокомпонентного складу в іонно-плазмових установках. Особливістю методу є попереднє циклічне продування камери змішувача для створення в ній атмосфери, що складається не менше ніж на 99,9% з одного компонента суміші. Надалі за заданим процентним співвідношенням газів у суміші здійснюється послідовна подача газових компонентів до відповідних парціальних тисків. На основі методу був розроблений генератор газових сумішей (для випадку трьох газів), який можна промислово застосовувати. Генератор газових сумішей характеризують високі продуктивність створення газових сумішей і точність співвідношення компонентів у суміші (похибка з кожного компонента не перевищує 0,1%). Застосування розробленого генератора газових сумішей в процесах іонно-плазмової обробки забезпечить отримання покриттів з оптимальними властивостями.

Method of the gas mixtures comprising of intended producing complex composition coatings for ion-plasma systems is proposed. The method is based on creating certain values of gaseous components partial pressure in the mixing chamber. Preliminary cyclic blowing of the mixing chamber for the atmosphere including not less than 99.9% of one component mixture is the peculiarity of the method. Henceforth according to the percentage of gases in a mixture consistent supply of gas components is provided up to respective partial pressures. For the gas mixtures genera-tor that implements the proposed method hardware and software were developed. Gas mixtures generator is characterized by precision of the gas mixtures with high productivity and accuracy of the components ratio in the mixture (error of each component does not exceed 0.1%).