Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБелоусов, И.В.
dc.date.accessioned2014-01-08T19:05:55Z
dc.date.available2014-01-08T19:05:55Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractРассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.uk_UA
dc.identifier.citationНаправленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52879
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleНаправленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложкеuk_UA
dc.title.alternativeСпрямована кристалізація силіцидних плівок на кремнієвій підкладціuk_UA
dc.title.alternativeDirectional crystallization of films silicide on silicon substrateuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
13-Belousov.pdf
Розмір:
247.4 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 5