Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора
dc.contributor.author | Леонов, Н.И. | |
dc.contributor.author | Лемешевская, А.М. | |
dc.contributor.author | Дудар, Н.Л. | |
dc.contributor.author | Гетьман, С.Н. | |
dc.date.accessioned | 2014-01-14T22:56:15Z | |
dc.date.available | 2014-01-14T22:56:15Z | |
dc.date.issued | 2006 | |
dc.description.abstract | Определены конструкция, удельное сопротивление эпитаксиальной пленки и толщина подзатворного окисла, при которых получены требуемые значения порогового напряжения транзистора. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора / Н.И. Леонов, А.М. Лемешевская, Н.Л. Дудар, С.Н. Гетьман // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 45-47. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52971 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.subject | Функциональная микро- и наноэлектроника | uk_UA |
dc.title | Оптимизация изготовления высоковольтного горизонтального р-канального МОП-транзистора | uk_UA |
dc.title.alternative | Оптимизація виготовлення високовольтного горизонтального р-канального МОН-транзистора | uk_UA |
dc.title.alternative | The high-voltage lateral p-channel MOStransistor making optimization | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: