Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorTorianik, I.N.
dc.contributor.authorBeresnev, V.M.
dc.contributor.authorPogrebnjak, A.D.
dc.contributor.authorSobol, O.V.
dc.contributor.authorBeresneva, Ye.V.
dc.contributor.authorPodcherniaieva, I.A.
dc.contributor.authorKropotov, A.Yu.
dc.contributor.authorStiervoiedov, N.G.
dc.contributor.authorTurbin, P.V.
dc.contributor.authorKolesnikov, D.A.
dc.contributor.authorGrankin, S.S.
dc.contributor.authorNyemchenko, U.S.
dc.contributor.authorSrebniuk, P.A.
dc.contributor.authorNovikov, V.Yu.
dc.date.accessioned2016-05-19T17:06:03Z
dc.date.available2016-05-19T17:06:03Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractBy means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa. The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate.uk_UA
dc.description.abstractМагнетронным методом распыления, с применением постоянного и импульсного напряжений намишень, полученыпокрытия на основе керамики AlN-TiB₂-TiSi₂. Выявлено аморфноподобную структуру сформированных покрытий с областью упорядочения ~ 1 нм и коэффициентом вязкопластичности 0,07. Твердость покрытий достигает 15,3 ГПа, а модуль упругости составляет 206 ГПа. Покрытия характеризуются высокой адгезионной прочностью по отношению к подложке.uk_UA
dc.description.abstractМагнетронним методом розпилення, іззастосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.uk_UA
dc.identifier.citationMagnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.udc539.2: 538.975
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100317
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизическая инженерия поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleMagnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂uk_UA
dc.title.alternativeМагнетронное распыление высокотемпературной композиционной керамики AlN-TiB₂-TiSi₂uk_UA
dc.title.alternativeМагнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂uk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
10-Torianik.pdf
Розмір:
374.22 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Физическая инженерия поверхности, 2013, № 3