Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом

Abstract

Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач по упрочнению инструмента. Установлено, что при горении вакуумной дуги в присутствии азота в области давлений 1,5 ÷ 5 Па наблюдается высокая степень корреляции зависимостей тока положительно заряженных частиц и скорости осаждения нитридсодержащих покрытий от величины магнитного поля. Такими частицами могут быть положительно заряженные кластеры, состоящие из 15 ÷ 20 молекул нитрида титана. При горении дуги в области более низких давлений азота (0,5 ÷ 0,8 Па) подобная корреляция отсутствует.

Вивчений вплив індукції магнітного поля на швидкість осадження нітридних покриттів, що отримують в області підвищеного тиску (1,5 ÷ 5 Па) і в області тиску менше 1,5 Па, традиційно використовуваною для вирішення технологічних завдань по зміцненню інструменту. Встановлено, що при горінні вакуумної дуги у присутності азоту в області тиску 1,5 ÷ 5 Па спостерігається високий ступінь кореляції залежностей струму позитивно заряджених частинок і швидкості осадження нітридних покриттів від величини магнітного поля. Такими частинками можуть бути позитивно заряджені кластери яки складаються з 15 ÷ 20 молекул нітриду титану. При горінні дуги в області нижчого тиску азоту (0,5 ÷ 0,8 Па) подібна кореляція відсутня.

Influence of magnetic field induction is studied on deposition rate of vacuum-arc nitride coatings, got: in range of the promoted pressures (1,5 ÷ 5 Pa) and in area of pressures a less than 1,5 Pa, traditionally used for the decision of technological tasks on instrument hardening. It is set that at burning of a vacuum arc in presence nitrogen in area of pressures 1,5 ÷ 5 Pa are observed high degree of correlation of dependences of current of the positively charged particles and deposition rate of nitride coatings for the magnetic field value. Such particles can be the positively charged clusters consisting of 15 ÷ 20 molecules of titanium nitride. At operating of arc in range of more low nitrogen pressures (0,5 ÷ 0,8 Pa) similar correlation is absent.