Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers

dc.contributor.authorPenkov, A.V.
dc.contributor.authorVoronov, D.L.
dc.contributor.authorDevizenko, A.Yu.
dc.contributor.authorPonomarenko, A.G.
dc.contributor.authorZubarev, E.N.
dc.date.accessioned2018-06-20T05:04:05Z
dc.date.available2018-06-20T05:04:05Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractX-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, and and low-angle X-ray diffraction were used to investigate the diffusion intermixing in multilayer periodic Mo/Si coatings during manufacturing and heating at 340-380 ℃. It is shown that the mixed zones in the initial state consist of MoSi₂ silicide. Сharacter of mixed zones growth depends on the interface type (Si on Mo or Mo on Si). At initial stage of annealing, the activation energy of interdiffusion has been found to vary from 0.1 to 2.1 eV and from 0.7 to 2.1 eV for the 1-st and 2-nd interface type, respectively.uk_UA
dc.description.abstract3а допомогою рентгенiвської фотоелектронної спектроскопiї, просвiчувальної електронної мiкроскопiї та малокутової рентгенiвської дифрактометрiї дослiджено дифузiйне перемiшування у багатошарових перiодичних покриттях Mo/Si₂ при виготовленнi та нагрiваннi до 340-380 ℃. Показано, що у вихiдному станi перемiшанi зони складаються з силiциду молiбдену Mo/Si₂. Спостерiгається вiдмiннiсть у характерi росту перемiшаних зон у залежностi вiд типу меж подiлу (Si на Mo або Mo на Si). Встановлено, що енергiя активацiї дифузiї на початкових стадiях вiдпалу змiнюється вiд 0.1 до 2.1 еВ для межi першого типу та вiд 0.7 до 2.1 еВ - для другого типу.uk_UA
dc.description.abstractС помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, просвечивающей электронной микроскопии и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследовалось диффузионное перемешивание в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при изготовлении и при нагреве до 340-380 ℃. Показано, что в исходном состоянии перемешанные зоны состоят из силицида молибдена MoSi₂. Наблюдается различный характер роста перемешанных зон в зависимости от типа границы раздела (Si на Mo или Mo на Si). Установлено, что энергия активации диффузии на начальной стадии отжига изменяется от 0.1 до 2.1 эВ для границы первого типа и от 0.7 до 2.1 эВ - для второго типа.uk_UA
dc.identifier.citationFeatures of diffusion mixing in Mo/Si multilayers / A.V. Penkov, D.L. Voronov, A.Yu. Devizenko, A.G. Ponomarenko, E.N. Zubarev // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 4. — С. 750-754. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1027-5495
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139320
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНТК «Інститут монокристалів» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofFunctional Materials
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleFeatures of diffusion mixing in Mo/Si multilayersuk_UA
dc.title.alternativeОсобливостi дифузiйного перемiшування у багатошарових покриттях Mo/Siuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
27-Penkov.pdf
Розмір:
219.98 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: