Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorШарапов, В.М.
dc.contributor.authorГуржий, А.Н.
dc.contributor.authorФилимонов, С.А.
dc.date.accessioned2014-01-07T22:58:57Z
dc.date.available2014-01-07T22:58:57Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractПредложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.uk_UA
dc.identifier.citationТрехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectЭлектронные средства: исследования, разработкиuk_UA
dc.titleТрехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопаuk_UA
dc.title.alternativeТрьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопаuk_UA
dc.title.alternativeThree-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscopeuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
03-Sharapov.pdf
Розмір:
301.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 4