Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКрылов, В.Н.
dc.contributor.authorЩербакова, Г.Ю.
dc.contributor.authorКозина, Ю.Ю.
dc.date.accessioned2014-01-07T19:20:12Z
dc.date.available2014-01-07T19:20:12Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractРазработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.uk_UA
dc.identifier.citationПозиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52819
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleПозиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроляuk_UA
dc.title.alternativeПозиціонування зображень фотошаблонів у системах автоматизованого оптичного контролюuk_UA
dc.title.alternativeCircuits masks images alignment for automatic optical inspection systemsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
16-Krylov.pdf
Розмір:
201.02 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 3