Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorГоловяшкин, А.Н.
dc.contributor.authorЛежнев, Д.В.
dc.date.accessioned2014-11-15T10:50:58Z
dc.date.available2014-11-15T10:50:58Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractРассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.uk_UA
dc.identifier.citationПолучение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc621.382
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнология производстваuk_UA
dc.titleПолучение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакуумеuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
08-Goloviashkin.pdf
Розмір:
171.99 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001, № 2