Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorФилатов, Ю.Д.
dc.contributor.authorСидорко, В.И.
dc.contributor.authorПрихна, Т.А.
dc.contributor.authorФилатов, А.Ю.
dc.contributor.authorБоримский, А.И.
dc.contributor.authorКовалев, С.В.
dc.contributor.authorКуцай, А.М.
dc.contributor.authorВетров, А.Г.
dc.contributor.authorПолторацкий, В.Г.
dc.date.accessioned2018-06-15T12:36:13Z
dc.date.available2018-06-15T12:36:13Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationПолирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2223-3938
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135587
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofПородоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectПородоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его примененияuk_UA
dc.titleПолирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремнияuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
74-Filatov.pdf
Розмір:
1010.21 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения, 2014, вип. 17