Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПершин, Ю.П.
dc.contributor.authorСеврюкова, В.А.
dc.contributor.authorЗубарев, Е.Н.
dc.contributor.authorОберемок, А.С.
dc.contributor.authorМельник, В.П.
dc.contributor.authorРоманюк, Б.Н.
dc.contributor.authorПопов, В.Г.
dc.contributor.authorЛитвин, П.М.
dc.date.accessioned2016-07-06T15:21:27Z
dc.date.available2016-07-06T15:21:27Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractИсследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.uk_UA
dc.description.abstractДосліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.uk_UA
dc.description.abstractThe Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.uk_UA
dc.identifier.citationИсследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1024-1809
dc.identifier.otherPACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofМеталлофизика и новейшие технологии
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectСтроение и свойства наноразмерных и мезоскопических материаловuk_UA
dc.titleИсследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частицuk_UA
dc.title.alternativeInvestigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particlesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
05-PershinNEW.pdf
Розмір:
442.58 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Металлофизика и новейшие технологии, 2013 (том 35), № 12