Микроволновой метод определения толщин диэлектрических материалов с использованием излучателя со сканированием диаграммой направленности

Abstract

Рассматриваются возможности микроволновой метрологии миллиметрового диапазона электромагнитных волн для определения толщин плоских слоев из диэлектрических немагнитных материалов, лежащих на металлической подложке или находящихся в свободном пространстве. В качестве излучателя используется двухплечевой короткозамкнутый отрезок диэлектрического волновода и электродинамически связанная с ним диэлектрическая пластина. Приводятся оценки погрешностей определения толщины и диэлектрической проницаемости исследуемого слояРозглядаються можливості мікрохвильової метрології міліметрового діапазону електромагнітних хвиль для визначення товщини плоских шарів із діелектричних немагнітних матеріалів, що знаходяться на металевій підкладці або у вільному просторі. Як випромінювач використовується двоплечовий короткозамкнений відрізок діелектричного хвилеводу та електродинамічно пов’язана з ним діелектрична пластина.Possibilities of millimeter wavelength microwave metrology for determination of thicknesses of flat layers of nonmagnetic dielectric materials placed on a metal substrate or in free space are considered. As a radiator, a bilateral short-circuited fragment of dielectric waveguide with interconnecting dielectric plate is used. Error estimates in determination of layer thickness and permittivity are given.