Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМовчан, Б.А.
dc.contributor.authorЯковчук, К.Ю.
dc.date.accessioned2016-02-13T18:52:20Z
dc.date.available2016-02-13T18:52:20Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractПредставлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении.uk_UA
dc.identifier.citationЭлектронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn0233-7681
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95079
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofСовременная электрометаллургия
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectЭлектронно-лучевые процессыuk_UA
dc.titleЭлектронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытийuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
03-Movchan.pdf
Розмір:
791.56 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Современная электрометаллургия, 2004, № 2