Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЕгоров, С.Г.
dc.contributor.authorЧервоный, И.Ф.
dc.contributor.authorВоляр, Р.Н.
dc.date.accessioned2016-03-08T20:58:02Z
dc.date.available2016-03-08T20:58:02Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractИсследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов.uk_UA
dc.description.abstractProcess of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined.uk_UA
dc.identifier.citationМатематическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn0233-7681
dc.identifier.udc669.187.58
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofСовременная электрометаллургия
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectВакуумно-индукционная плавкаuk_UA
dc.titleМатематическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнииuk_UA
dc.title.alternativeMathematical model of inductor field effect on coefficient of impurity distribution in siliconuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09-Egorov.pdf
Розмір:
567.97 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Современная электрометаллургия, 2009, № 3