Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСпирин, В.Г.
dc.date.accessioned2014-02-14T23:00:18Z
dc.date.available2014-02-14T23:00:18Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractПредложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.uk_UA
dc.identifier.citationКомпенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectПроектирование. Конструированиеuk_UA
dc.titleКомпенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблонаuk_UA
dc.title.alternativeКомпенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблонуuk_UA
dc.title.alternativeCompensation for thin-film component systematic errors by mask elementsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
02-Spirin.pdf
Розмір:
204.86 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2004, № 4