Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВасильев, Ю.К.
dc.contributor.authorНестеров, С.Б.
dc.contributor.authorВасильева, Т.С.
dc.date.accessioned2013-12-15T22:39:52Z
dc.date.available2013-12-15T22:39:52Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractПоказано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.uk_UA
dc.identifier.citationТенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectОбеспечение тепловых режимовuk_UA
dc.titleТенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуумаuk_UA
dc.title.alternativeТенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакуумуuk_UA
dc.title.alternativeNew trends in oil free vacuum generation equipmentuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
11-Vasiliev.pdf
Розмір:
218.79 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, № 2