Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений

Abstract

Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физико-механических характеристик нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от их структурного состояния. Показана зависимость получаемой структуры от условий осаждения покрытий, а также взаимосвязь между структурой покрытия и его физико-механическими характеристиками.

Проведений аналіз формування плівкових покриттів на основі нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від умов синтезу. Виявлені загальні закономірності синтезу тонких плівок даного класу з’єднань — формування аксіальної текстури і стовпчастої структури. Проведений аналіз фізико-механічних характеристик нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від їх структурного стану. Показана залежність отримуваної структури від умов осадження покриттів, а також взаємозв’язок між структурою покриття і його фізико-механічними характеристиками.

The analysis of forming of pellicle coverages is conducted on the basis of nitrides, carbides and borides of transitional metals depending on the terms of receipt. General conformities to law of synthesis of thin-films of this class of connections — forming of axial texture and columnar structure are exposed. The analysis of physic-mechanical descriptions of nitrides is conducted, carbides and borides of transitional metals depending on their structural state. Dependence of the got structure is rotined on the terms of besieging of coverages, and also intercommunication between the structure of coverage and his physic -mechanical descriptions.