Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБелянин, А.Ф.
dc.contributor.authorСамойлович, М.И.
dc.contributor.authorКовальский, К.А.
dc.contributor.authorПетухов, К.Ю.
dc.date.accessioned2014-01-25T11:15:44Z
dc.date.available2014-01-25T11:15:44Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractПоказаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.uk_UA
dc.identifier.citationПолучение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleПолучение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной техникеuk_UA
dc.title.alternativeОтримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніціuk_UA
dc.title.alternativeObtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronicsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
10-Belianin.pdf
Розмір:
900.41 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005, № 4