Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДудин, С.В.
dc.contributor.authorЯцков, А.П.
dc.contributor.authorФареник, В.И.
dc.date.accessioned2014-11-12T08:00:37Z
dc.date.available2014-11-12T08:00:37Z
dc.date.issued2002
dc.description.abstractПроведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный прибор «Плазмометр», предназначенный для автоматизированного определения ключевых параметров лабораторной и технологической плазмы.uk_UA
dc.description.abstractThe review of methods and devices for probe control of plasma technological processes is carried out. A series of "Kontrol" devices using specially designed schemes of the probe signal compensation and processing as well as original algorithms of the analysis of etching curves is described. Versatile instrument "PlasmaMeter" designed for automated definition of key parameters of laboratory and technological plasma is described too.uk_UA
dc.identifier.citationОборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc533.9.082.5
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70774
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНовое технологическое оборудование для микроэлектроникиuk_UA
dc.titleОборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессовuk_UA
dc.title.alternativeEquipment for probe diagnostics and control of plasma technology processesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09-Dudin.pdf
Розмір:
207.89 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002, № 3