Vacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatings

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorAksenov, I.I.
dc.contributor.authorBelous, V.A.
dc.date.accessioned2015-05-29T07:42:11Z
dc.date.available2015-05-29T07:42:11Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractA brief overview of NSC KIPT developments intended for creating the process equipment for vacuum-arc deposition of coatings is presented. The equipment devised is to be adapted to large-scale manufacture conditions and to be most suitable for commercial production. Consideration is given to the developments of high-efficiency butt-end plasma sources, vacuum-arc evaporators with extended (cylindrical and planar) cathodes, magnetic filters for removal of macroparticles from plasma, and also a number of devices to form various-purpose coatings.uk_UA
dc.identifier.citationVacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatings / I.I. Aksenov, V.A. Belous // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 3. — С. 156-158. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.udc533.9
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82381
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectLow Temperature Plasma and Plasma Technologiesuk_UA
dc.titleVacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatingsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
48-Aksenov.pdf
Розмір:
138.61 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2000, № 3