Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАснис, Е.А.
dc.contributor.authorПискун, Н.В.
dc.contributor.authorСтаткевич, И.И.
dc.date.accessioned2016-03-13T19:30:23Z
dc.date.available2016-03-13T19:30:23Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractПриведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки.uk_UA
dc.description.abstractData are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting.uk_UA
dc.identifier.citationОчистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn0233-7681
dc.identifier.udc669.187.826
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofСовременная электрометаллургия
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectЭлектронно-лучевые процессыuk_UA
dc.titleОчистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавкеuk_UA
dc.title.alternativeRefining of silicon from background and alloying impurities in electron beam crucibleless zonal meltinguk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
04-Asnis.pdf
Розмір:
518.8 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Современная электрометаллургия, 2011, № 4