Диаграмма аморфно-кристаллических состояний тонких пленок закиси азота

Abstract

Методом трансмиссионной электронографии исследованы структурные состояния твердой N₂0 в зависи­ мости от эффективной толщины b конденсата, получаемого из газовой фазы, и температуры конденсации Тd при фиксированной скорости осаждения. Обнаружена аномальная (среди криокристаллов) способность закиси азота к формированию относительно стабильных аморфных состояний, характеристики которых зависят от указанных параметров осаждения и теплоотвода в процессе конденсации. Построена диаграмма состояний в координатах (Тd , b), вид которой определяется теплопроводностью твердого конденсата и под­ ложки.

Методом трансмісійної електронографії досліджено структурні стани твердої N₂0 в залежності від ефек­ тивної товщини b конденсату, одержаного з газової фази, та температури конденсації Тd при фіксованій швидкості осадження. Виявлено аномальну (між кріокристалів) здатність закису азоту до формування від­ носно стабільних аморфних станів, характеристики яких залежать від вказаних параметрів осадження і тепловідводу в процесі кристалізації. Побудовано діаграму станів в координатах (Тd , b), вигляд якої обумов­ люється теплопровідностю твердого конденсату та підкладки.

Using the transmission electron diffraction method, we studied structural states of solid N₂0 as a function of the effective thickness b of the film deposited from the gas and the condensation temperature Td at fixed de­ position rate. We have found that nitrogen monoxide exhibits an abnormal (among the cryocrystals) ability to form relatively stable amorphous states whose charac­ teristics depend on the deposition parameters indicated above and the heat removal during condensation. The relevant diagram of states is constructed in the coor­ dinates (Td , b); the form of the diagram is determined by the thermal conductivities of the film being deposited and the substrate.