Состав, структура и триботехнические свойства вакуумно-дуговых однослойных TiN, MoN и многослойных TiN/MoN покрытий

Abstract

Представлены результаты комплексных исследований наноструктурных покрытий из TiN и MoN, а также многослойных покрытий, состоящих из чередующихся слоев TiN/MoN. Покрытия были получены при помощи перспективного современного метода катодного дугового испарения (метод Vacuum-arc). Проведено сравнение элементного и фазового состава покрытий, их трибологических и физико-механических свойств: коэффициента трения, износа, адгезии, твердости, модуля упругости. Рассмотрены механизмы разрушения покрытий.

Представлено результати комплексних досліджень наноструктурних покриттів із TiN та MoN, а також багатошарових покриттів з прошарків TiN/MoN. Покриття було отримано за допомогою перспективного сучасного методу катодного випарування (метод Vacuum-arc). Порівняно елементний та фазовий склад покриттів, їх трибологічні та фізико-механічні властивості: коефіцієнт тертя, зношування, адгезія, твердість, модуль пружності. Розглянуто механізми руйнування покриттів.

Presented paper introduces the results of comprehensive investigations of nanostructured TiN and MoN coatings, and multilayer TiN/MoN coatings. Such coatings were deposited using perspective modern method of cathode arc evaporation (Vacuum-arc method). Element and phase composition of such coatings were compared. Tribological, physical and mechanical properties, such as friction coefficient, wear, adhesion, hardness and elastic modulus were investigated. Mechanisms of coating’s destruction were also explored.