Механическая подготовка объектов для электронно-микроскопических исследований

Abstract

Рассмотрены различные типы тонких фольг, получаемых при электрохимической полировке. Показано, что для исследования структуры и химического состава материалов методами аналитической электронной микроскопии необходимо использовать ионное утонение. В рамках программы по научному приборостроению при Президиуме НАН Украины разработаны и изготовлены приборы для механической подготовки заготовок перед финишным ионным утонением.Розглянуті різні типи тонких фольг, отриманих при електрохімічному поліруванні. Показано, що для дослідження структури і хімічного складу матеріалів методами аналітичної електронної мікроскопії необхідно використовувати іонне стоншення. В рамках програми по науковому приладобудуванню при Президії НАН України розроблені і виготовлені прилади для механічної підготовки заготовок перед фінішним іонним стоншенням.Different types of thin foils produced by an electrochemical polishing are considered. The necessity of ion milling application in study of material structure and chemical composition by methods of analytical electronic microscopy is shown. Within the framework of the Program on a scientific instrument-making at the Presidium of NAS of Ukraine the devices for mechanical preparation of blanks before ion milling finishing were developed and manufactured.