Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.
Опис
Теми
Научно-промышленные центры СНГ
Цитування
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.