Выращивание вискеров кремния методом пар-жидкость-кристалл

Abstract

Разработана методика получения на полированной поверхности кремния регу­лярных областей со статистически распределёнными наноразмерными частицами золота. Исследованы процессы формирования нановискеров кремния методом пар-жидкость-кристалл. Изучена их структура, морфология и эмиссионные характе­ристики.A method of fabrication of regular areas with randomly distributed gold nanoparticles on polished silicon surfaces has been developed. The processes of silicon whiskers formation by the "vapor-liquid-crystal" technique have been investigated. The structure, morphology and emission properties of whiskers have been studied.