Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.
Опис
Теми
Технологические процессы и оборудование
Цитування
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.