Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.
Опис
Теми
Технологические процессы и оборудование
Цитування
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.