Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
Опис
Теми
Технология производства
Цитування
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.