Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС.
Опис
Теми
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Цитування
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.