Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

Abstract

Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.