Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСторижко, В.Е.
dc.contributor.authorМирошниченко, В.И.
dc.contributor.authorПономарев, А.Г.
dc.date.accessioned2017-04-20T13:15:29Z
dc.date.available2017-04-20T13:15:29Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractРассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития.uk_UA
dc.description.abstractРозглянуто застосування сфокусованих пучків протонів з енергією декількох МеВ в технології виготовлення мікро- та нанорозмірних структур. Показано відмітні особливості взаємодії енергетичних протонів з резистивними матеріалами. Викладені уявлення про сучасний стан технології протонної пучкової літографії та сформульовані перспективи її розвитку.uk_UA
dc.description.abstractThe application of focusing beams of protons with MeV energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension structures is considered. Difference features of energetic protons interaction with resistive materials are shown. The representation about state of the art of technology of proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated.uk_UA
dc.identifier.citationИзготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1815-2066
dc.identifier.otherDOI: doi.org/10.15407/scin8.02.017
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherВидавничий дім "Академперіодика" НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofНаука та інновації
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectСвіт інноваційuk_UA
dc.titleИзготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развитияuk_UA
dc.title.alternativeВиготовлення мікро- і нанорозмірних структур з застосуванням протонної пучкової літографії: сучасний стан та перспективи розвиткуuk_UA
dc.title.alternativeNanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Developmentuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
05-Storijko.pdf
Розмір:
210.48 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Наука та інновації, 2012, № 2