Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
Опис
Теми
Научно-промышленные центры СНГ
Цитування
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.