Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

Скорочена інформація про документ
dc.date.accessioned2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.available2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.issued1998
dc.description.abstractПредназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.uk_UA
dc.identifier.citationМногоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140773
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНаучно-промышленные центры СНГuk_UA
dc.titleМногоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089Вuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
07-Generator.pdf
Розмір:
102.24 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструиров. в электронной аппаратуре, 1998, № 3-4