Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАндронова, Е.В.
dc.contributor.authorКурак, В.В.
dc.date.accessioned2014-01-04T18:14:13Z
dc.date.available2014-01-04T18:14:13Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractПредставлены результаты исследований по оптимизации режимов предэпитаксиальной обработки подложек GaSb химическим травлением в смеси на основе неорганических кислот.uk_UA
dc.identifier.citationПредэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев / Е.В. Андронова, В.В. Курак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 41-43. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52537
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleПредэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоевuk_UA
dc.title.alternativeПередепітаксійна обробка підкладок GaSb для рідкофазного вирощування гомоепітаксійних шарівuk_UA
dc.title.alternativePreepitaxial substrate treatment of GaSb for liquid phase technology homoepitaxial growthuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
08-Andronova.pdf
Розмір:
151.95 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008, № 6