Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЧапон, П.
dc.contributor.authorКостенко, О.К.
dc.date.accessioned2017-04-20T13:15:54Z
dc.date.available2017-04-20T13:15:54Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractОписаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью.uk_UA
dc.description.abstractОписані методи оптичної емісійної спектрометрії тліючого ВЧ-розряду. Наведені характеристики плазми тліючого розряду, що дозволяють виконувати ерозію поверхні з високою швидкістю.uk_UA
dc.description.abstractMethods of optical emission spectrometry of grow HFdis charge are described. The unique characteristics of GD plasma, which allow performing very fast surface erosion, are presented.uk_UA
dc.identifier.citationХарактеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1815-2066
dc.identifier.otherDOI: doi.org/10.15407/scin8.02.034
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116087
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherВидавничий дім "Академперіодика" НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofНаука та інновації
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectСвіт інноваційuk_UA
dc.titleХарактеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™uk_UA
dc.title.alternativeХарактеризація елементного розподілу по глибині плівок та покриттів методами RF GD-OES та TOFMS™uk_UA
dc.title.alternativeCharacterisation of Element Distribution in Films and Coatings with RF GD-OES and TOFMS™ Methodsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
08-Chapon.pdf
Розмір:
343.39 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Наука та інновації, 2012, № 2