Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorРогов, Р.В.
dc.contributor.authorМельничук, С.В.
dc.contributor.authorВоробец, Г.И.
dc.date.accessioned2014-01-25T13:00:41Z
dc.date.available2014-01-25T13:00:41Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractЭкспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.uk_UA
dc.identifier.citationСетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleСетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленокuk_UA
dc.title.alternativeМережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівокuk_UA
dc.title.alternativeNetwork system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin filmsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
14-RogovNEW.pdf
Розмір:
165.74 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005, № 5